右側部分為氣路原理

用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成，并可通過(guò)手動(dòng)方式，控制內部截止閥（V1-V6的開(kāi)關(guān)）

INLET1 - 設備所用背景氣，一般為空氣或氮氣。

INLET2 – 原料氣，用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。

初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體，系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下，在使用二級配氣條件下，初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下，用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。

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輸出設定

濃度設定模式下，用戶(hù)在輸出設定框中寫(xiě)入希望輸出的總濃度（系統默認氣源為1000000PPM情況下，輸出濃度在100PPM以上使用一級配氣，輸出濃度再100PPM以下，使用二級配氣）

用戶(hù)輸入總濃度后，選擇一級或二級配氣設定，系統會(huì )自動(dòng)切換用戶(hù)需要輸入的值。

如系統使用一級配氣，用戶(hù)可直接輸入流量輸出值（可用的流量輸出范圍會(huì )在輸入框上方顯示，輸入的流量不能超過(guò)這個(gè)范圍）。

如系統使用二級配氣，系統自動(dòng)調準到二級配氣設定框中，此時(shí)用戶(hù)可自行設定一級配氣的濃度，同樣，系統會(huì )自動(dòng)計算一級配氣可輸出的流量（可用的流量輸出范圍會(huì )在輸入框上方顯示，輸入的流量不能超過(guò)這個(gè)范圍，建議選用流量輸出），一級配氣濃度及流量設定后，系統會(huì )自動(dòng)計算終二級配氣用戶(hù)可輸出的流量（可用的流量輸出范圍會(huì )在輸入框上方顯示，輸入的流量不能超過(guò)這個(gè)范圍）

設定正確后，點(diǎn)擊“開(kāi)始”系統會(huì )自動(dòng)切換所需的閥進(jìn)行開(kāi)關(guān)，從而輸出用戶(hù)所需要的濃度。

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動(dòng)態(tài)配氣儀

可以根據客戶(hù)需求定制，進(jìn)行雙路，三路，多路等復合配氣；

采用不銹鋼質(zhì)量流量控制器、轉子流量計等高品質(zhì)組件，保證系統配氣精度高，質(zhì)量可靠；

大屏幕液晶屏幕、中文顯示，系統運行更穩定、操作更簡(jiǎn)便；

流量控制采用閉環(huán)模糊控制技術(shù)，響應速度快，流量控制準確；

零氣壓力和鋼瓶氣壓力可實(shí)時(shí)監測，保證供氣壓力滿(mǎn)足儀器要求；

系統中氣路清潔功能可保證每次配氣的精準度和設備的長(cháng)壽命；

無(wú)需預熱時(shí)間，開(kāi)機即可配氣。

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